Materials Science in Semiconductor Processing
(2017)
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doi: 10.1016/j.mssp.2017.09.012
issn: 1369-8001
M. Chávez Portillo, O. Portillo Moreno, R. Gutiérrez Pérez, R. Palomino Merino, H. Santiesteban Juarez, S. Tehuacanero Cuapa, E. Rubio Rosas